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第618章 技术瓶颈(第2页)

“第三层。。。。。。”

当第十二层薄膜沉积完成时,小陈激动地喊道:“教授,成功了!十二层薄膜,总厚度偏差控制在百分之一以内!”

李教授看着屏幕上的数据,长长舒了一口气。虽然离理想值还有差距,但至少证明这个思路是可行的。

“取样,做光谱分析。”他吩咐道。

半小时后,分析结果出来了。看着光谱曲线,李教授的眼睛亮了:“接近了!虽然还没达到EUV的要求,但比之前的任何样品都接近!”

他立即拨通韩风的电话,尽管现在是凌晨四点。

“韩总,好消息。”李教授的声音因为兴奋而有些颤抖,“我们在光源材料上取得了突破。虽然还没完全成功,但找到了正确的方向。”

电话那头,韩风显然也被吵醒了,但声音立刻清醒:“太好了!李教授,需要什么支持,尽管说。”

“我们需要更纯的原料,还有更精密的检测设备。”李教授说,“另外,我想成立一个专门的工艺组,研究如何把实验室成果转化为量产工艺。”

“没问题。我让苏总全力配合。原料和设备,不计成本,尽快采购。”韩风顿了顿,“教授,您要注意身体。突破很重要,但您的健康更重要。”

“我没事。”李教授笑道,“有了进展,比睡什么觉都解乏。”

挂掉电话,李教授对小陈说:“把数据整理好,明天上午开组会,讨论下一步方案。”

“教授,您不去睡一会儿?”

“睡不着。”李教授看着窗外渐亮的天色,“天快亮了,正好看看日出。”

两人走到楼顶,东方的天空已经泛起了鱼肚白。晨风吹来,带着草木的清香。

“小陈,你后悔回来吗?”李教授突然问。

小陈愣了一下,然后摇头:“不后悔。虽然这里条件艰苦,但做的事情有意义。在美国,我永远是个助手,做的永远是别人分配的工作。在这里,我能参与创造,能见证历史。”

“说得好。”李教授拍拍他的肩膀,“我们这一代人,见证了国家从贫穷到富强。你们这一代人,要见证国家从跟跑到领跑。这是我们的幸运,也是我们的责任。”

太阳从地平线上升起,金色的阳光洒满大地。新的一天开始了,新的战斗也将开始。

同一时间,光学实验室里,张建国和团队也取得了进展。

经过无数次失败,他们终于摸索出了一套独特的镜面抛光工艺。虽然效率很低,但加工出的镜面平整度,已经接近EUV的要求。

“张总,你看这个数据。”一个年轻工程师兴奋地指着屏幕,“表面粗糙度达到了0。1纳米,比我们之前的最好成绩提高了十倍!”

张建国仔细看着数据,心中激动不已。光学系统是EUV的另一个关键,镜面的平整度直接决定了光刻的精度。这个突破,意味着他们离目标又近了一步。

“怎么做到的?”他问。

“我们改进了抛光液的配方,加入了纳米金刚石颗粒。”工程师解释道,“另外,小王设计的那个自适应夹具也起了作用,能实时调整压力,保证抛光均匀。”

又是小王。张建国感慨,这个年轻人真是个天才。不仅在芯片设计上有想法,在设备改造上也有创意。

“通知所有人,上午开庆功会。”张建国说,“虽然离最终目标还有距离,但每一个进步都值得庆祝。”

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